Вакуумная система для нанесения твердых покрытий VTC 500-2S
Вакуумная PVD установка для нанесения твердых покрытий модель VTC 500-2S
предназначена для магнетронного напыления тонких пленок из Cr, Ni, Ti — и других
проводящих материалов и сплавов на их основе, а так же композиций с газами для
получения нитридов, карбидов на поверхности деталей для получения таких свойств, как
твердость, высокая износостойкость, коррозионная стойкость, низкий коэффициент
трения и т.д. в зависимости от материала.
Вакуумная машина предназначена для установки в чистых сухих помещениях,
класс 10.000 (С) или вакуумных лабораториях либо в цехах вакуумных покрытий.
Условия окружающей среды должны быть следующими:
- Температурный диапазон: 18 — 25 0С;
- Относительная влажность: не более 55%.
- Процесс нанесения покрытия происходит в вакуумной камере при давлении около
10-3 торр.
Установка работает в полностью автоматическом режиме и дает возможность
ручного управления всеми основными процессами, такими как откачка, нагрев подложки,
вращение и т.д.
